ARIES Series(에어리스 시리즈)
Footprint 최적화 설계
Utility option:PM용 GAS,CDA,PCW(Process Cooling Water)구성 가능한 구조
ARIES-A400
– 최대 6개의 PM을 장착 가능한 구조
– 2개의 PM에 Wafer를 동시에 반송 가능한 구조
– Load lock : DUAL STACK TYPE
– Load lock option : Cooling plate, Pre-Heater 적용가능한 구조
ARIES-A600
– 최대 4개의 PM을 장착 가능한 구조
– Load lock : ANGLE Type
– Load lock option : Cooling plate, VCE(Vacuum Cassette Elevator)적용 가능한 구조
ARIES-Inline
– 최대 4개의 PM을 장착 가능한 구조
– 2개의 VACUUM Robot을 사용하는 INLINE Type TM
– Load lock : STACK Type
– Load lock option : Cooling plate, Pre-Heater 적용가능한 구조
ARIES-A600-450(450mm)
– 최대 5개의 PM을 장착 가능한 구조
– TANDEM형 TM으로 확장 가능한 구조
– Footprint 최적화 설계
– Load lock : STACK Type
– Utility option : PM용 GAS, CDA, PCW 구성 가능한 구조
– 450mm VTM Robot
