DURAPORT Series(듀라포트 시리즈)
Up / Down Mapping 기능
각종 Safety Interlock 구현
RFID 적용으로 Wafer ID Reading
DURAPORT-DE-300
– 300mm Wafer FOUP Open / Close 장치
– 다양한 FOUP 종류에 대해 대응 가능
– SWMI S2 and CE
DURAPORT-DMN2-300
– 300mm Wafer FOUP Open / Close & N2 Purge 장치
– FOUP 내부 N2 Purge 기능
– 1-In-let Nozzle & 3-In-let Nozzle FOUP 종류에 대해 대응 가능
– FOUP 내 N2 Purge 시간 최소화
DURAPORT-DP-450(450mm)
– 450mm Wafer FOUP Open / Close 장치
– 450mm FOUP 대응
– Up / Down Mapping 기능
– 각종 Safety Interlock 구현
– RFID 적용으로 Wafer ID Reading
– Easy Maintenance
