VEGA Series(베가 시리즈)
Wafer Notch & Center 검출 및 보정
DELTA PICK & PLACE Mode 가능
VEGA-300C-V
– VACUUM GRIP Type
– Option : LIFT PIN MODULE
– 다양한 종류의 Robot End-Effector 대응가능
VEGA-P300N-PS
– PASSIVE Type
– Wafer Edge Contact으로 Wafer backside 오염 최소화
– LIFT PIN MODULE 적용
