PHOENIX Series(피닉스 시리즈)
Footprint 최적화 설계
FFU RPM MODE, 차압 MODE 사용가능
EFEM 상부에 PM용 ELEC RACK 구성 가능
PHOENIX-P200
– 2LPM 장착
– Option : ALIGNER, Light curtain area sensor, Protection BAR
PHOENIX-P300
– 3LPM 장착
– LINEAR TRACK MODULE 적용
– Option : ALIGNER, Side storage, Light curtain area sensor, Protection BAR
PHOENIX-P400
– 4LPM 장착
– LINEAR TRACK MODULE 적용
– Option : ALIGNER, Side storage, Light curtain area sensor, Protection BAR
PHOENIX-P300-450(450mm)
– 2LPM 장착(3LPM 확장 가능)
– Footprint 최적화 설계
– Option : ALIGNER, Light curtain area sensor, Protection BAR
– FFU RPM Mode, 차압 Mode 사용가능
– EFEM 상부에 PM용 ELEC Rack 구성 가능
– 450mm ATM Robot
– 450mm LPM
EFEM Software
EFEM Software는 Windows 기반의 Platform으로 C#과 C++ 환경으로 자체적으로 개발되어 EFEM에 탑재 운영이 되고 있습니다. 설비를 구동 시키는 TMC영역과 사용자가 쉽게 이용하기 위한 GUI를 지원합니다. ( GUI 없이 TMC만으로도 구동이 가능 함.)
Control 방식으로는 크게 Job과 Schedule을 Handling하는 “Communication Control Type”과 Process 설비로부터 명령만 전달받아 구동 되는 “EFEM Main Control Type”으로 구분됩니다. Communication Control Type은 EFEM Software와 Process Module Controller간 Interface Communication을 하면서 FA Host과도 EFEM Status report을 하는 타입입니다.
